薄膜コーティング

 反射防止膜


レーザー損傷試験結果
 

波長 パルス幅 照射角度 ビームサイズ 評価方法 損傷閾値
1 1064nm 10ns X280μm、Y320μm
(Gaussian 1/e2)
100-on-1
(5Hz)
31J/cm2
2 532nm 8ns X410μm、Y590μm(Gaussian 1/e2) 1-on-1 18J/cm2
                          ※上記データは試験結果であり、保証値ではありません。

分光特性


・No.1(1064nm ARコーティング)

 

 

・No.2(532nm ARコーティング)

 

 全反射ミラー



レーザー損傷試験結果
 

波長 パルス幅 照射角度 ビームサイズ 評価方法 損傷閾値
1 248nm 10ns 45° X460μm、Y840μm
(Gaussian 1/e2)
1000-on-1
(100Hz)
1.9J/cm2
                          ※上記データは試験結果であり、保証値ではありません。

 テラヘルツ波反射防止膜


分光特性

●高抵抗シリコン基板上の反射防止膜