反射防止膜
レーザー損傷試験結果
| № | 波長 | パルス幅 | 照射角度 | ビームサイズ | 評価方法 | 損傷閾値 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1064nm | 10ns | 0° | X280μm、Y320μm (Gaussian 1/e2) |
100-on-1 (5Hz) |
31J/cm2 |
| 2 | 532nm | 8ns | 0° | X410μm、Y590μm(Gaussian 1/e2) | 1-on-1 | 18J/cm2 |
※上記データは試験結果であり、保証値ではありません。
分光特性
・No.1（1064nm ARコーティング）
・No.２（532nm ARコーティング)
全反射ミラー
レーザー損傷試験結果
| № | 波長 | パルス幅 | 照射角度 | ビームサイズ | 評価方法 | 損傷閾値 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 248nm | 10ns | 45° | X460μm、Y840μm (Gaussian 1/e2) |
1000-on-1 (100Hz) |
1.9J/cm2 |
※上記データは試験結果であり、保証値ではありません。
テラヘルツ波反射防止膜
分光特性
●高抵抗シリコン基板上の反射防止膜
